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氮气碳载纯化装置。从氮气缓冲罐出来的普氮，在预热器中和脱氧器中出来的高温氮气进行热交换升温后，经加热器加热到一定温度以后，进入填充了碳催化剂的脱氧器，碳和氮气中的余氧反应生成二氧化碳，再进入静态混合器式冷却器降到常温，再通过变压吸附原理，用填充了分子筛的微热再生干燥器除去二氧化碳和水分，*后经过超精度过滤器过滤以后，得到高纯度氮气。此外在纯化装置中设置的预热器（热交换器），可回收脱氧器中脱氧后氮气的热量，可大大节约能耗30%以上。同时冷却器采用了静态混合器式结构，避免了常规冷却器列管变形而导致的故障问题，大大提高了装置的连续性操作和性能。*后得到的氮气纯度≥99.999%，产量为
